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                  紅亞在綫

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                  株洲红亚电热设备有限公司

                  全国咨询热线:

                  0731-22493281

                  气相沉积炉
                  气相沉积炉
                  主要特点 :
                  气相沉积炉的用途: 本化学气相沉积石墨化一体炉可用于以碳氢气体(如C3H8等)为碳源的复合材料的化学气相沉积,如C/C复合材料、SiC复合材料等的CVD、CVI处理、石墨件的表面增碳处理、石墨烯的生产。 气相沉积炉的特点: 采用多功能高温设计,可实现化学气相沉积和石墨
                  使用行业 :
                  • 产品详情
                  • 产品规格
                  • 使用步骤
                  • 气相沉积炉原图2

                    气相沉积炉的用途:
                      本化学气相沉积石墨化一体炉可用于以碳氢气体(如C3H8等)为碳源的复合材料的化学气相沉积,如C/C复合材料、SiC复合材料等的CVD、CVI处理、石墨件的表面增碳处理、石墨烯的生产。
                     气相沉积炉的特点:
                      采用多功能高温设计,可实现化学气相沉积和石墨化处理一次性完成。
                      使用温度高达2600,并可长时间稳定可靠运行。
                      采用热电偶和红外测温仪组合的测温自动转换系统,可实现全温度段的显示和控制。
                      采用IGBT为主功率器件的感应加热变频控制系统,使得设备节能省电,谐波分量小,对外部设备无干扰。
                      进出气体的精确流量显示和控制,保证了产品的稳定性。
                      采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强; 
                      采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;
                      特制的过滤系统,对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理;
                     气相沉积炉的技术参数:


                    参数

                    型号

                    HYSJL-3040

                    HYSJL-4050

                    HYSJL-5060

                    HYSJL-6080

                    HYSJL-8080

                    工作区尺寸DXHmm)

                    Ф300X

                    400

                    Ф400X

                    500

                    Ф500X

                    600

                    Ф600X

                    800

                    Ф800X

                    800

                    最高工作温度(

                    1500

                    2600

                    1500

                    2600

                    1500

                    2600

                    1500

                    2600

                    1500

                    2600

                    温度均匀性(

                    ±7.5

                    ±7.5

                    ±7.5

                    ±7.5

                    ±7.5

                    工作电压(V)

                    三相380

                    额定功率(KW)

                    40

                    80

                    60

                    150

                    80

                    160

                    90

                    200

                    160

                    350

                    工作气氛

                    真空/氩气/氮气/氢气/炳烷/石油天然气

                    以上化学气相沉积炉技术参数可根据工艺参数进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。可将化学气相沉积和高温石墨化两种功能分开,单独做成化学气相沉积炉和高温石墨化炉。

                     



                    联系方式 / CONTACT WAY

                    联系红亚株洲红亚电热设备有限公司

                    座  机:0731-22493281

                    传  真:0731-22492181

                    联系人:言先生

                    手  机:13973335809  

                    Q  Q:12355824

                    公司邮箱:hongya@drsb.cn,174735802@qq.com

                    销售部:杨经理 

                    手  机:18374024057

                    Q  Q:824352602

                    公司地址:湖南省株洲市荷塘区金精路158嘉德工业园1

                    炭化炉 真空烧结炉 石墨化炉 碳化炉 熔炼炉,淬火设备,3000度高温电炉,3000度高温烧结炉,真空脱樟干燥箱,红亚电热-电热设备制造专业厂家


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